近期我國多家企業(yè)在碳化硅設(shè)備領(lǐng)域取得了顯著進展,推動了我國在第三代半導(dǎo)體材料裝備制造方面的自主創(chuàng)新能力。
其中,晶馳機電成功開發(fā)出電阻法12英寸碳化硅晶體生長設(shè)備,實現(xiàn)了同一爐臺8英寸和12英寸碳化硅單晶的穩(wěn)定量產(chǎn);山西天成的12英寸碳化硅長晶爐也已進入爐體組裝和工藝調(diào)試階段,計...  [詳內(nèi)文]
12英寸碳化硅設(shè)備,三家企業(yè)實現(xiàn)突破! |
作者
KikiWang
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發(fā)布日期:
2025 年 04 月 14 日 13:41
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關(guān)鍵字:
SiC碳化硅
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