2022年12月30日,2022年株洲市項(xiàng)目建設(shè)“百日攻堅(jiān)”行動(dòng)重大項(xiàng)目開(kāi)竣工活動(dòng)正式舉行。活動(dòng)現(xiàn)場(chǎng)共有76個(gè)項(xiàng)目集中開(kāi)竣工,總投資306.9億元,半導(dǎo)體用碳化硅蝕刻環(huán)項(xiàng)目便是其中一個(gè)。
據(jù)悉,SiC刻蝕環(huán)是半導(dǎo)體材料在等離子刻蝕環(huán)節(jié)中的關(guān)鍵耗材。SiC刻蝕環(huán)對(duì)純度要求極高,只能...  [詳內(nèi)文]
總投資2.5億,半導(dǎo)體用碳化硅蝕刻環(huán)項(xiàng)目竣工 |
作者
lin, lynn
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發(fā)布日期:
2023 年 01 月 03 日 18:00
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關(guān)鍵字:
碳化硅
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