市場(chǎng)最新消息顯示，珂瑪科技半導(dǎo)體設(shè)備用碳化硅陶瓷部件的擴(kuò)建項(xiàng)目獲最新進(jìn)展。9月15日，滁州市人民政府發(fā)布了關(guān)于《安徽珂瑪材料技術(shù)有限公司半導(dǎo)體設(shè)備用碳化硅材料及部件項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表》受理公示。
圖片來源：滁州市人民政府官網(wǎng)公示截圖
安徽珂瑪材料技術(shù)有限公司計(jì)劃在滁州市中新蘇滁高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)蘇滁現(xiàn)代工業(yè)坊陸號(hào)廠房進(jìn)行擴(kuò)建，項(xiàng)目投資6542.42萬元，環(huán)保投資20萬元。
此次擴(kuò)建項(xiàng)目將租賃蘇滁現(xiàn)代工業(yè)坊陸號(hào)廠區(qū)1號(hào)廠房，建筑面積5135平方米，購置碳化硅高溫?zé)Y(jié)爐、碳化硅高溫滲硅爐、工藝舟開槽機(jī)、清洗及烘干設(shè)備、注漿成型生產(chǎn)線、數(shù)控磨床、數(shù)控車床、CNC加工中心等74臺(tái)套設(shè)備。項(xiàng)目新增半導(dǎo)體設(shè)備用碳化硅陶瓷部件11000件/年（約8噸/年），調(diào)漿工藝增加真空攪拌設(shè)備，使?jié){料調(diào)配更加均勻，進(jìn)一步提高產(chǎn)品質(zhì)量。
公開資料顯示，安徽珂瑪材料技術(shù)有限公司是蘇州珂瑪材料科技股份有限公司的子公司，成立于2022年11月，主要從事碳化硅晶舟、碳化硅爐管等高精密陶瓷部件以及各種專業(yè)設(shè)備的設(shè)計(jì)制造。
2023年，企業(yè)申報(bào)“高端裝備用先進(jìn)陶瓷材料和部件生產(chǎn)項(xiàng)目”，于2023年6月2日取得中新蘇滁高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)建設(shè)房產(chǎn)環(huán)保局批復(fù)。該項(xiàng)目總投資12000萬元，租用蘇滁現(xiàn)代工業(yè)坊陸號(hào)廠區(qū)6號(hào)廠房，購置燒結(jié)爐、滲硅爐、造粒機(jī)、注漿機(jī)、擠出機(jī)、干燥機(jī)等設(shè)備，建設(shè)碳化硅陶瓷生產(chǎn)線。
項(xiàng)目建成后可年產(chǎn)290噸機(jī)械設(shè)備換熱防腐部件和10噸半導(dǎo)體設(shè)備用碳化硅陶瓷部件。目前，年產(chǎn)180噸機(jī)械設(shè)備換熱防腐部件和8噸半導(dǎo)體設(shè)備用碳化硅陶瓷部件生產(chǎn)裝置已建成，于2024年10月19日通過自主驗(yàn)收并完成排污許可登記。由于6號(hào)廠房空間限制，剩余110噸機(jī)械設(shè)備換熱防腐部件和2噸半導(dǎo)體設(shè)備用碳化硅陶瓷部件生產(chǎn)線不再建設(shè)。
此次擴(kuò)建項(xiàng)目將進(jìn)一步提升安徽珂瑪在半導(dǎo)體設(shè)備用碳化硅陶瓷部件領(lǐng)域的生產(chǎn)能力，滿足市場(chǎng)對(duì)高精密陶瓷部件的不斷增長(zhǎng)需求，推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。
在技術(shù)層面，珂瑪科技近年來取得了顯著進(jìn)展。其超高純碳化硅套件產(chǎn)品純度高達(dá)99.99%，缺陷密度控制在每平方厘米不超過1個(gè)，技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國內(nèi)領(lǐng)先水平。目前，6英寸產(chǎn)品已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，并向北方華創(chuàng)等頭部客戶穩(wěn)定供貨；8英寸產(chǎn)品在客戶端的驗(yàn)證工作基本完成，正在推進(jìn)Fab端的量產(chǎn)應(yīng)用；12英寸部件，如晶舟和隔熱片，也已進(jìn)入設(shè)備驗(yàn)證階段。
此外，7月22日，珂瑪科技擬以1.02億元現(xiàn)金收購蘇州鎧欣73%的股權(quán)。蘇州鎧欣在CVD碳化硅陶瓷零部件領(lǐng)域技術(shù)深厚，其產(chǎn)品已在Si外延、SiC外延、GaN外延等多個(gè)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)規(guī)?；瘧?yīng)用，碳化硅刻蝕環(huán)、碳化硅噴淋頭、12英寸Si外延用碳化硅涂層石墨基座等先進(jìn)產(chǎn)品的開發(fā)也取得了良好進(jìn)展。
圖片來源：珂瑪科技公告截圖
同時(shí)，珂瑪科技位于江蘇蘇州的先進(jìn)材料生產(chǎn)基地已正式投產(chǎn)，重點(diǎn)布局陶瓷加熱器、靜電卡盤及超高純碳化硅套件等“結(jié)構(gòu)-功能”一體化模塊產(chǎn)品。在市場(chǎng)方面，珂瑪科技同樣表現(xiàn)強(qiáng)勁。2025年上半年，公司營(yíng)業(yè)總收入達(dá)到5.2億元，同比增長(zhǎng)35.34%；歸母凈利潤(rùn)為1.72億元，同比增長(zhǎng)23.52%。在全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)復(fù)蘇的背景下，公司來自國內(nèi)外頭部半導(dǎo)體設(shè)備廠商的訂單持續(xù)增加。
（集邦化合物半導(dǎo)體 竹子 整理）
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